
disynet liefert den weltkleinsten & leichtesten MEMS 6-Achsen Kraft-/Drehmoment-Sensor
Der weltkleinste 6-Achsen-Kraftsensor nutzt MEMS-Technologie auf einer hochleistungsfähigen Biege-Metall-Struktur, um Kraft- und Drehmoment jeweils in allen drei Achsen zu messen. Der monolithische, piezoresistive MEMS-Chip wird mit einem speziellen Verfahren geätzt, um einen hochsensiblen Kraft- und Drehmomentsensorchip zu erhalten, der zudem Mehr