Nanometergenaue Positionierung für High-Tech-Anwendungen
Am 05.11.2025 haben die SIOS Meßtechnik GmbH und das IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH) im Auftakttreffen am IMMS Ilmenau die Arbeiten für das einjährige Verbundvorhaben „Motion Controller für die Nano-Positionier-Plattform NPS6D100“ (MC_NPS) aufgenommen. Im Projekt Mehr







