Cooler Schutz für heiße Öfen
Für die Herstellung von Siliziumwafern, die als Ausgangsprodukte für Halbleiterbauelemente wie z. B. Solarzellen dienen, sind spezielle Öfen nötig. In diesen Öfen durchlaufen die Wafer bei der Herstellung unterschiedliche Prozesse. Ein optimaler Vorgang setzt dabei eine ideale Positionierung voraus. Die Mehr






