Automatisierte Wafer-Inspektion großer & schwerer Proben
Zwar geht der Trend in der Halbleiterindustrie klar in Richtung Miniaturisierung, doch auch am anderen Ende der Skala ist einiges in Bewegung. So werden beispielsweise die Wafer mit 400 mm Durchmesser immer größer, ebenso nehmen Probe-Cards für das Testing an Mehr





