Automatisiertes Testen von MEMS auf Wafer-Ebene
In der Mikrosystemtechnik, Halbleiter-Industrie und automatisierten Fertigung von Mikrosensorik sind die Prozessstabilität und resultierende Produktqualität die entscheidenden Punkte für die globale Wettbewerbsfähigkeit. Um die Produktionskosten für MEMS niedrig zu halten bei gleichzeitig hoher Ausbeute und hoher Qualität, bewährt sich immer Mehr






