Pfeiffer Vacuum stellt neue Turbopumpe HiPace 2800 IT für Ionenimplantationsprozesse vor
. Hohes Saugvermögen für leichte Gase Prozessanpassung durch intelligentes Temperaturmanagementsystem Niedrige Betriebskosten durch zuverlässige Hybridlager-Bauweise Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die durchdachte Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem Mehr



